真空系統的真空閥門的技術要求和特征

真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。系統中用的閥門需要采用真空閥門，最好是類似美國威盾VTON等一些大品牌的進口真空閥門，因為真空閥門和普通的常壓閥門不一樣，真空系統對進口真空閥門的要求比較特殊，分析如下：

1， 防銹性

    在與真空環境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。

2， 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa

    相對較寬的壓力范圍，會使產品的使用面更廣泛，而且閥板的密封最好是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。

3， 結構緊湊，重量輕

4、低漏率

    在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統的效率，對降低生產成本非常有效。真空閥門氣密性與漏氣速率

氣密性表征真空閥的密封狀態。漏氣越少氣密性越好。漏氣速率表示在單位時間內，所有通過不同渠道漏入真空閥的氣體量，單位為Pa·L/s。當真空閥門的漏量小于規定的允許漏量時，氣密性達到要求，通常稱為沒有漏氣，實際上絕對不漏的閥門是不存在的。真空閥門各部位允許漏量視閥門對真空度的要求不同而不同。

5， 起動時，震動低，對系統沖擊小。

6， 結構緊湊，重量輕

7， 可選配加裝閥門啟閉信號控制器，便于編程自動化控制。

8， 高流導，明顯的閥位指示

9， 采用波紋管作為位移的動密封

    無動態漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對橡膠密封，可靠性更高并可以避免產生顆粒污染。

10，真空部分盡量避免采用真空脂。

11，盡量減少真空部件內的無用空間，以保證真空獲得的時間更少。

12，盡可能的減少功耗

美國威盾VTON的進口真空閥門正是根據以上真空系統對真空閥門的要求，采用以下原則設計：

①閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小，而且閥體的漏氣速率要��；

②閥門密封部件耐磨性要好，特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用，壽命長；

③閥門的通導能力要大；

④閥門材料應具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學穩定性；

⑤超高真空閥門應耐烘烤，烘烤溫度一般不低于150℃，最高450℃；

⑥閥門結構要簡單，造型美觀大方，開關輕便、靈活，開關狀態應有標識，大型閥門應有起吊裝置，操作方便，維修容易；

⑦閥門零部件加工工藝性要好，表面處理工藝先進，進口真空閥門連接法蘭應符合真空法蘭國家標準要求。一般是KF法蘭和活套法蘭。